暑假里，上海大學微電子學院的十余位研究生格外忙碌，他們每周5天在上海微技術工業(yè)研究院的“超越摩爾”8英寸中試線實習，學習集成電路制造工藝、在導師指導下參與創(chuàng)新項目。
今年6月，上海微技術工研院宣布將8英寸線每年四分之一的總機時資助給上海大學，用于微電子學院教學實踐，為期5年。“8英寸線一年的運營費近1億元，工研院相當于每年投入價值2000多萬元的機時，用于微電子學院本科生和研究生的培養(yǎng)。”上海微技術工研院首席技術官、上海大學微電子學院院長古元冬博士說。
古元冬帶教的博士研究生楊繼業(yè)感慨道：“我碩士是在德累斯頓工業(yè)大學讀的，德國大學非常重視產(chǎn)教融合，但我們學院的產(chǎn)教融合程度超過了德國大學。”
考核標準以產(chǎn)業(yè)需求為導向
上海大學微電子學院成立于2019年11月，由上海大學和上海微技術工研院共同發(fā)起，與中國科學院上海分院、嘉定區(qū)政府、集成電路創(chuàng)新型企業(yè)共建，面向集成電路產(chǎn)業(yè)。“在市委市政府的支持下，我們正在全力打造準工業(yè)化、國際化的一流微電子學院。”上海大學微電子學院執(zhí)行院長張建華教授說。
作為學院發(fā)起和共建單位，上海微技術工研院是一個連接科技界與產(chǎn)業(yè)界的平臺。這家新型研發(fā)機構由中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所創(chuàng)辦，致力于“超越摩爾”技術和物聯(lián)網(wǎng)應用的創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化。2017年9月，工研院的“超越摩爾”8英寸研發(fā)中試線投入運營，成為國內首條、國際領先的微機電系統(tǒng)（MEMS）中試線。“芯片制造是中國大陸集成電路產(chǎn)業(yè)的一塊短板，我們學院要通過產(chǎn)教融合，培養(yǎng)一大批來之能戰(zhàn)的制造工藝人才。”古元冬表示，工藝經(jīng)驗的巨大商業(yè)價值，決定了工藝專家積累的經(jīng)驗往往不會通過論文廣而告之。這就要求高校在高端工藝人才的培養(yǎng)模式和考核標準上不能“唯論文”，而是要以產(chǎn)業(yè)需求為導向，學生科研成果以用戶評價、市場檢驗和第三方評價為主。
把工藝技能傳授給研究生
如今，十余位上大研究生在8英寸線學習、研發(fā)制造工藝。碩士研究生季宇成告訴記者：“我們組5個同學相當于上班了，這里每天都有客戶送來的片子，需要做定制化工藝研發(fā)。師傅研發(fā)工藝時會抽出時間給我們講解，這些實用知識在教室里是很難學到的。”
季宇成所說的師傅，是工研院的工藝工程師團隊。他們都毫無保留地把工藝技能傳授給研究生，讓他們能早日上手，具備自主研發(fā)的能力。作為研究生導師，8英寸線副總經(jīng)理王詩男博士要求小季等同學每天晚上寫學習日志。完成各個區(qū)域的初步學習后，研究生要選擇一個領域進行深入研究。“我們會在這里待到畢業(yè)，這樣不僅完成了碩士學業(yè)，還相當于有了兩年的一線實戰(zhàn)經(jīng)驗。”季宇成笑著說，“這對找工作是非常有利的。”
舍得投入收獲創(chuàng)新成果
博士研究生楊繼業(yè)已在8英寸線工作一年，負責制備氮化鋁薄膜。將這種材料沉積到晶圓上后，可制造聲學傳感器、5G射頻芯片等器件。經(jīng)過一年摸索，他取得了技術突破。
取得技術突破的原因是什么？他做了一番對比：“我在德國讀碩士3年間，導師總共給我8片晶圓來研究工藝，但工研院一次性就給我25片晶圓。為了研發(fā)高質量氮化鋁薄膜的生長工藝，我已用掉200多片晶圓，終于找到了比較好的工藝窗口。”據(jù)介紹，一片晶圓的成本是500—600元，工研院為了支持研究生參與創(chuàng)新項目，十分舍得投入，也因此收獲了創(chuàng)新成果。
作為在德國留學10年的海歸，楊繼業(yè)也為上大微電子專業(yè)的產(chǎn)教融合點贊。“進入8英寸線后，我發(fā)現(xiàn)這里的工藝都是向研究生開放的。導師和工程師都很耐心地指導我們，讓我們很快成長起來。”楊繼業(yè)說，“沒想到在上大讀博士，可以與產(chǎn)業(yè)界聯(lián)系得這么緊密。”制備出單層氮化鋁薄膜后，他打算研發(fā)雙層氮化鋁材料和5G射頻芯片，為產(chǎn)業(yè)界提供高質量的集成電路材料和器件。（俞陶然）
（責任編輯：蔡文斌）
晉公網(wǎng)安備 14090202000008號 
